Внешний блок фильтрации для всех вакуумных / всасывающий устройств. Встроенная система дифференциального давления (датчики контроля загрязнения фильтров. Фильтры: Стандарт, Компакт и ХЕПА приобретаются отдельно. В Фильтрующей установке F100 требуется два комплекта фильтров G3 и F7.